光學(xué)鍍膜設(shè)備：NANO-MASTER NOC-4000光學(xué)涂覆系統(tǒng)提供*進(jìn)的技術(shù)，在一個腔體中實(shí)現(xiàn)原子級清洗和光學(xué)樣片拋光，然后把樣片傳送到第二級腔體中對同一樣片進(jìn)行表面涂覆，整個過程不間斷真空。系統(tǒng)的設(shè)計(jì)也可以支持其中任一個腔體的單獨(dú)使用，同時具備各自的自動上/下載片功能。

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更新時間：2025-09-17
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光學(xué)鍍膜設(shè)備概述：NANO-MASTER NOC-4000光學(xué)涂覆系統(tǒng)提供*進(jìn)的技術(shù)，在一個腔體中實(shí)現(xiàn)原子級清洗和光學(xué)樣片拋光，然后把樣片傳送到第二級腔體中對同一樣片進(jìn)行表面涂覆，整個過程不間斷真空。系統(tǒng)的設(shè)計(jì)也可以支持其中任一個腔體的單獨(dú)使用，同時具備各自的自動上/下載片功能。

應(yīng)用：

光學(xué)涂層
濺射
離子束輔助沉積
離子束刻蝕清洗
離子束輔助反應(yīng)刻蝕
紅外涂層
表面處理

產(chǎn)品特點(diǎn):

射頻偏壓樣品臺
膜厚監(jiān)測儀
極限真空5x10-7Torr
高精度及高重復(fù)性
高品質(zhì)膜層
原子級的潔凈表面
原子級清洗和拋光
通過LabView軟件實(shí)現(xiàn)PC計(jì)算機(jī)全自動控制
自動上下載片
兩個腔體之間自動傳送
菜單驅(qū)動，4級密碼訪問保護(hù)
完整的安全聯(lián)鎖
占地面積46"D x 44"W

光學(xué)鍍膜設(shè)備選配項(xiàng):

向下/向上濺射
共濺射
DC，RF以及脈沖電源
離子束輔助沉積
電子束源
等離子源

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